Direktmontage

Die Direktmontage ungehäuster Halbleiter auf Substraten bringt als Systemintegrationsverfahren eine neue Qualität in die mikroelektronische Aufbau- und Verbindungstechnik. Für dieses Handbuch wurden die aktuellen Ergebnisse aus den verschiedenen Technologiebereichen der Direktmontage ungehäuster Halbleiter durch den Fachausschuss 4. 9 der GME zusammengetragen. Da hier Fachleute aus Industrie und Wissenschaft zusammenarbeiteten, konnten Neuentwicklungen nicht nur aufgezeigt, sondern auch deren Umsetzung und Anwendbarkeit technisch und wirtschaftlich beurteilt werden. Die Bewertung der einzelnen Verfahren hilft bei der Auswahl entsprechender Technologien. Auf dem sehr dynamischen Gebiet der Mikrosystemtechnik liegen viele Hoffnungen für den Zukunftsstandort Deutschland. Dieses Handbuch beschäftigt sich mit einer der zentralen Technologien innerhalb der Mikrosystemtechnik.

1 Einführung. - 2 Chip und Chippräparation. - 2. 1 Problematik der Nacktchipmontage. - 2. 2 Waferausführung. - 2. 3 Methoden der Bumperzeugung. - 2. 4 Zusammenfassende qualitative Bewertung der Methoden. - 2. 5 Firmen/Institute mit Bumping Serviceleistungen. - 3 Montage-und Kontaktiertechnologien. - 3. 1 Drahtkontaktierung (Chip and Wire). - 3. 2 Tape Automated Bonding (TAB). - 3. 3 Flipchip-Teclmologie. - 4 Modellierung und Simulation von Einbaufällen. - 4. 1 Voraussetzungen für Modellbildung und Simulation. - 4. 2 Methoden zur Simulation und Optimierung elektrischer Eigenschaften. - 4. 3 Methoden zur Simulation und Optimierung thermischer Eigenschaften. - 4. 4 Methoden zur Simulation und Optimierung mechanischer Eigenschaften. - 4. 5 Bewertung der Zuverlässigkeit an Beispielen. - 5 Produktbeispiele aus den Montagetechnologien. - 5. 1 Elektronischer Schlüssel. - 5. 2 Elektrischer Rasierapparat. - 5. 3 Magnetsensor. - 5. 4 Chipkarten. - 5. 5 Hörgerät. - 5. 6 Computer-Interface. - 6 Vergleich der Eigenschaften der Montagetechnologien. - 6. 1 Allgemeines. - 6. 2 Anwendungen. - 6. 3 Kosten und Aufwand. - 6. 4 Bewertungskriterien. - 6. 5 Tabellarischer Vergleich der Kontaktierungstechniken. - 7 Ausblick auf verwandte Montageverfahren. - 7. 1 Ball Grid-Array. - 7. 2 Chip Size Package. - Literatur. - Autoren.