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Inhaltsverzeichnis
Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- Werkstoffe der Mikromechanik.- Reinraumtechnik.- Technologie der Mikromechanik.- Meßmethoden.- Anwendungen der Mikromechanik.- Mikrosystemtechnik.
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Produktdetails
Erscheinungsdatum
31. August 2013
Sprache
deutsch
Auflage
2. Aufl. 1991
Seitenanzahl
240
Dateigröße
13,71 MB
Reihe
Angewandte Physik
Co-Autor/Co-Autorin
Stephanus Büttgenbach
Verlag/Hersteller
Originalsprache
deutsch
Kopierschutz
mit Wasserzeichen versehen
Produktart
EBOOK
Dateiformat
PDF
ISBN
9783322918833
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