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Dusty Plasmas

Physics, Chemistry, and Technological Impact in Plasma Processing

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Plasmen, die Staubpartikel enthalten, werden in der Werkstoffverarbeitung seit einigen Jahren verstä rkt eingesetzt; so beim Wachstum dü nner Filme, beim Ä tzen und bei der Oberflä chenbehandlung. Das vorliegende Werk ist das erste, das sich ausschließ lich diesem Thema widmet. Ausgehend von den physikalischen Grundlagen der Plasmaentstehung in verschiedenen Quellen werden die Eigenschaften der Medien diskutiert; der letzte Teil geht auf die wichtigsten Anwendungsfelder ein. (06/99)


Inhaltsverzeichnis

Physics and Modelling of Dusty Plasmas (J. -P. Boeuf & C. Punset).

Sources and Growth of Particles (J. Perrin).

Diagnostics of a Dusty Plasma (L. Boufendi, et al. ).

Technological Impacts of Dusty Plasmas (A. Bouchoule.

Indexes.

Produktdetails

Erscheinungsdatum
09. September 1999
Sprache
englisch
Seitenanzahl
424
Herausgegeben von
André Bouchoule
Verlag/Hersteller
Produktart
gebunden
Gewicht
831 g
Größe (L/B/H)
235/157/29 mm
ISBN
9780471973867

Pressestimmen

"This book...will surely achieve great success."
"This book is recommended.."
-- Plasma Physics Control Fusion, Vol 42, 2000
 
"...well worth having in one's collection."
--Journal of Atmospheric & Solar Terrestrial Physics, Vol 62, 2000

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