Plasmen, die Staubpartikel enthalten, werden in der Werkstoffverarbeitung seit einigen Jahren verstä rkt eingesetzt; so beim Wachstum dü nner Filme, beim Ä tzen und bei der Oberflä chenbehandlung. Das vorliegende Werk ist das erste, das sich ausschließ lich diesem Thema widmet. Ausgehend von den physikalischen Grundlagen der Plasmaentstehung in verschiedenen Quellen werden die Eigenschaften der Medien diskutiert; der letzte Teil geht auf die wichtigsten Anwendungsfelder ein. (06/99)
Inhaltsverzeichnis
Physics and Modelling of Dusty Plasmas (J. -P. Boeuf & C. Punset).
Sources and Growth of Particles (J. Perrin).
Diagnostics of a Dusty Plasma (L. Boufendi, et al. ).
Technological Impacts of Dusty Plasmas (A. Bouchoule.
Indexes.
